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壓縮機執(zhí)行元件控制元件真空發(fā)生器調質元件輔助元件真空吸盤搬運元件

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定量吐出單元本體

定量吐出單元

泵控制器

電動CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型

電源電壓	推奨電磁閥	適用范圍
DC24V.2A	電磁閥JA.F10 系列	F-EPT.F-EPB 系列

空壓波紋管泵

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	8	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	15	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	40	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	60	0.2～0.4MPa

電動波紋管泵

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	8	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	15	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	40	0.1～10

電動CT泵

電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～6	0.1～4

電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～10	0.1～4

FPD用電動CT泵

電動CT泵F-EPT系列F-EPT30型

●最適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	3～30	0.05～3

電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	6～60	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT100型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	10～100	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	20～200	0.1～15

電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	30～300	0.1～12

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