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+ 氣缸

標準氣缸帶導向･雙活塞桿搬運型手指･夾爪搖動型低速型執行元件輔助

+ 空氣閥

電磁閥空氣動作閥･氣控閥手動閥･腳踏閥･機械動作閥電氣控制輔助系統

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壓縮機空氣除濕器 FRL 壓力表

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流量表接頭･配管材速度制御壓力開關消音器沖擊吸收元件支柱･限位空氣壓力表示器

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壓縮機執行元件控制元件真空發生器調質元件輔助元件真空吸盤搬運元件

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執行元件控制元件調質元件輔助元件

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氣缸相關空氣閥相關空氣過濾器·調壓閥真空元件·吸盤

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定量吐出單元本體

定量吐出單元

泵控制器

電動CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型

電源電壓	推奨電磁閥	適用范圍
DC24V.2A	電磁閥JA.F10 系列	F-EPT.F-EPB 系列

空壓波紋管泵

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	8	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	15	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	40	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型

●氣缸驅動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	60	0.2～0.4MPa

電動波紋管泵

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	8	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	15	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	40	0.1～10

電動CT泵

電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～6	0.1～4

電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～10	0.1～4

FPD用電動CT泵

電動CT泵F-EPT系列F-EPT30型

●最適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	3～30	0.05～3

電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	6～60	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT100型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	10～100	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	20～200	0.1～15

電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	30～300	0.1～12

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