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+ 空氣閥

電磁閥空氣動作閥･氣控閥手動閥･腳踏閥･機械動作閥電氣控制輔助系統(tǒng)

+ 空氣過濾器·調(diào)壓閥

壓縮機空氣除濕器 FRL 壓力表

+ 節(jié)流閥·接頭等

流量表接頭･配管材速度制御壓力開關(guān) 消音器沖擊吸收元件支柱･限位空氣壓力表示器

+ 真空元件·吸盤

壓縮機執(zhí)行元件控制元件真空發(fā)生器調(diào)質(zhì)元件輔助元件真空吸盤搬運元件

+ 潔凈系統(tǒng)元件

執(zhí)行元件控制元件調(diào)質(zhì)元件輔助元件

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氣缸相關(guān) 空氣閥相關(guān) 空氣過濾器·調(diào)壓閥真空元件·吸盤

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泵定量吐出單元

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泵控制器

電動CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型

電源電壓	推奨電磁閥	適用范圍
DC24V.2A	電磁閥JA.F10 系列	F-EPT.F-EPB 系列

空壓波紋管泵

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型

●氣缸驅(qū)動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	8	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	15	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	40	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	60	0.2～0.4MPa

電動波紋管泵

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	8	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	15	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	40	0.1～10

電動CT泵

電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構(gòu)造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～6	0.1～4

電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構(gòu)造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～10	0.1～4

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